Hong Hocheng, K. Y. Wang

ANALIZA OBRÓBKI MIKROPATTERNÓW LASEREM EKSCYMEROWYM

OBRÓBKA MIKROWZORÓW LASEREM EXCIMEROWYM

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Przeanalizowano proces przeci¿gania laserowego w celu usuni¿cia wzoru rowka i bardziej z¿o¿onych cech 3D na arkuszu poliw¿glanu (PC) poprzez ksztät otworu maski. W celu przewidzenia obrabianego profilu podczas procesu przeci¿gania, opracowano model matematyczny opisuj¿cy zale¿no¿¿ pomi¿dzy parametrami obróbki laserowej a wytworzonym profilem. Zaproponowany model jest weryfikowany do¿wiadczalnie. W pracy przedstawiono wyniki eksperymentu i symulacji numerycznej w przeci¿ganiu pojedynczym i krzy¿owym z zastosowaniem masek eliptycznych, trójk¿tnych i prostok¿tnych. Parametry pracy obejmuj¿ pr¿dko¿¿ przeci¿gania, cz¿stotliwo¿¿ powtarzania impulsów, liczb¿ impulsów, fluencj¿ oraz wymiar otwarcia maski. Wykazano dobr¿ zgodno¿¿ pomi¿dzy eksperymentem i symulacj¿ z odchyleniem mniejszym ni¿ 14%. W oparciu o zaproponowany model, miniaturowa soczewka lampy mo¿e by¿ produkowana poprzez zmian¿ parametrów pracy lasera, ksztätu i wymiarów maski. Ponadto, badane s¿ korzy¿ci p¿yn¿ce z zastosowania soczewki lampy o mikroskopijnych rozmiarach dla skuteczno¿ci ¿wietlnej. Wyniki ilustruj¿, ¿e systemy optyczne z soczewk¿ lampy o mikro-funkcji mog¿ oferowä lepsz¿ wydajno¿¿ optyczn¿ ni¿ te z soczewk¿ lampy o makro-funkcji.

Produktdetails

• Verlag: Wydawnictwo Nasza Wiedza
• Seitenzahl: 120
• Erscheinungstermin: 10. August 2021
• Polnisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 8mm
• Gewicht: 197g
• ISBN-13: 9786203556087
• ISBN-10: 6203556084
• Artikelnr.: 62418225

Autorenporträt

El Dr. Hocheng nació en Taiwán. Se licenció en la Universidad Nacional de Taiwán y se diplomó en la Technische Hochschule Aachen (Alemania). Se doctoró en la Universidad de California, Berkeley. En la actualidad es titular de la cátedra Tsing Hua de la Universidad Nacional de Taiwán. Sus campos de interés son los procesos de fabricación innovadores.