Visando aprimorar a literatura a respeito de materiais biocompatíveis, o presente trabalho apresenta os resultados obtidos em dois anos de investigação experimental sobre a deposição polimérica proveniente de um plasma de benzeno mantido à baixa pressão e excitado por tensão contínua. Aqui se encontram dados sobre a temperatura eletrônica do plasma, estrutura molecular, taxa de crescimento e difusividade térmica do polímero formado em substrato de vidro ou silício