In diesem Buch wird ein innovatives Verfahren zum Elektroerosionsbohren von Mikrolöchern vorgestellt. Dabei werden Werkzeuge eingesetzt, die an der Seitenwand durch eine Beschichtung isoliert sind. Das Konzept besteht darin, die Prozessstabilität des Mikro-Erodier-Tiefbohrens zu fördern, indem Sekundärfunken verhindert werden. Die Leistung von Standard- und kundenspezifischen Werkzeugen wird anhand der Hauptkriterien Formqualität und Werkzeugverschleiß verglichen und überprüft. Bei der Mikro-Elektroerosion (micro EDM) kann die Seitenisolierung der Werkzeugelektrode die Bearbeitungsgenauigkeit erheblich verbessern, insbesondere bei Strukturen mit hohem Aspektverhältnis. Ein neuer Ansatz für die Seitenisolierung von Mikroeinzelelektroden, bei dem die Mikrowerkzeugelektroden durch Schleuderbeschichtung und Aushärtung bei Raumtemperatur mit einem sehr dünnen Polymerfilm beschichtet werden, gefolgt von einem Reibverfahren, um das Isoliermaterial von den Elektrodenendflächen zu entfernen.