Na silikonowym pod¿o¿u osadzono jednowarstwow¿ próbk¿ sk¿adaj¿c¿ si¿ z jednej warstwy Ni i jednej warstwy Ti z warstw¿ Ni jako warstw¿ podstawow¿. Podczas osadzania pod¿o¿e by¿o obracane z okre¿lon¿ pr¿dko¿ci¿. Osadzone warstwy by¿y nast¿pnie wy¿arzane w temperaturze 300 ¿ C, 400 ¿ C,500 ¿ C i 600 ¿ C przez okres 1 godziny w piecu pró¿niowym, aby osi¿gn¿¿ krystaliczno¿¿ w osadzonych warstwach i utworzy¿ krystaliczn¿ pojedyncz¿ warstw¿, a tak¿e w celu uzyskania jednorodno¿ci chemicznej. Teza dotyczy procesu wytwarzania stopów NiTi o cienkich warstwach pami¿ci ksztätu i charakterystyki ich morfologii, a tak¿e w¿äciwo¿ci mechanicznych cienkich warstw, takich jak twardo¿¿, zmniejszony modu¿ spr¿¿ysto¿ci, a co za tym idzie modu¿ spr¿¿ysto¿ci, szybko¿¿ zu¿ycia, a co za tym idzie odporno¿¿ na ¿cieranie, stopie¿ odzysku g¿¿boko¿ci, a co za tym idzie w¿äciwo¿ci superelastyczne. Folie zostäy wyprodukowane w napylarce magnetronowej DC/RF na dok¿adnie oczyszczonym pod¿o¿u Si utrzymywanym w temperaturze 300°C. ¿ C z dwóch docelowych materiäów o czysto¿ci 99,99% Ni i Ti 75 mm w atmosferze oboj¿tnej, sk¿adaj¿cej si¿ w 99,99% z czystego argonu. Podczas osadzania, pod¿o¿e by¿o obracane z wcze¿niej okre¿lon¿ pr¿dko¿ci¿.