Beiträge zur Verringerung der Positionierunsicherheit
in der Nanopositionier- und Nanomessmaschine
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In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur Verringerung der Positionierunsicherheit einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt. Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die zur Längenmessung verwendeten Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert. Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen Antriebssysteme durch eine neuartige Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine verbesserte Klimaregelung erhöht...
In dieser Dissertation werden Maßnahmen zur Verringerung der Positionierunsicherheit einer Nanopositionier- und Nanomessmaschine vorgestellt. Sie erreicht in einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm eine Positionsauflösung von 0,1 nm. Zur Verringerung der Temperaturempfindlichkeit wurden die zur Längenmessung verwendeten Planspiegelinterferometer konstruktiv verändert. Zudem werden die vertikalen, elektrodynamischen Antriebssysteme durch eine neuartige Gewichtskraftkompensation stärker entlastet und die Temperaturstabilität in der Messkammer durch eine verbesserte Klimaregelung erhöht. Durch die veränderte Lagerung einer neu konstruierten, monolithischen Messspiegelecke treten verkleinerte Oberflächenabweichungen auf. Die Unsicherheit für die Bestimmung von Winkelabweichungen bei der Bewegung der Messspiegelecke wurde deutlich verkleinert. Die bei Verkippung des Messobjektes entstehenden Längenmessabweichungen erster und zweiter Ordnung werden dadurch reduziert.
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