Poreus silicium (PS) is zeer belangrijk vanwege zijn toepassingen in de opto-elektronica, biologische en chemische sensoren, micromachining, bij de fabricage van diffusiemembranen en als substraatmateriaal en val voor moleculen in matrixvrije desorptie/ionisatie massaspectrometrie. PS kan ook worden gebruikt in fotovoltaïsche en biomedische toepassingen en in batterijen en zonnecellen. PS wordt normaliter geproduceerd door anodisch etsen in oplossingen op basis van HF of door beitsen in HF/oxidatiemiddel. De metaalondersteunde chemische etsmethode heeft geen externe bias nodig en maakt de vorming van uniforme PSL sneller mogelijk dan de beits etsmethode.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.