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Il est bien connu que la microélectronique est l'une des technologies les plus influentes du vingtième siècle. L'essor des systèmes microélectromécaniques (MEMS), ces dernières années, n'aurait pas été possible sans la maturité de la technologie microélectronique. Les MEMS sont de petits dispositifs intégrés qui combinent des éléments électroniques, électriques et mécaniques sur une seule puce. Les MEMS promettent de révolutionner la plupart des micro-produits en combinant la micro-fabrication avec le processus de micro-usinage. Un niveau inégalé de supériorité, de sophistication, de fonctionnalité, de fiabilité et de disponibilité peut être atteint sur une petite puce de silicium à un coût relativement faible. Les MEMS à l'échelle nanométrique se divisent en systèmes nanoélectromécaniques (NEMS) et en nanotechnologies.