Charakterisierung von diffraktiv-optischen Elementen
Aufbau eines Messplatzes zur optischen Charakterisierung von diffraktiv-optischen Mikrostrukturen
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Die ursprünglich als Diplomarbeit verfasste Schriftbeschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzeszur optischen Charakterisierung vondiffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird indiesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniertund sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegendwird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearenBinärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus demBeugungsbild erläutert. Es wird auf das optischeMessprinzip samt Beispielmessungen eingegangen.Besondere Beachtung findet die Darstellung derImplementierung des Messplatzes. Dies führt von derKonzeptionieru...
Die ursprünglich als Diplomarbeit verfasste Schrift
beschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzes
zur optischen Charakterisierung von
diffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird in
diesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniert
und sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegend
wird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearen
Binärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus dem
Beugungsbild erläutert. Es wird auf das optische
Messprinzip samt Beispielmessungen eingegangen.
Besondere Beachtung findet die Darstellung der
Implementierung des Messplatzes. Dies führt von der
Konzeptionierung über die Konstruktion bis hin zur
Auswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.
beschreibt den Aufbau eines preiswerten Messplatzes
zur optischen Charakterisierung von
diffraktiv-optischen Mikrostrukturen. Es wird in
diesem Rahmen ein kompletter Messplatz konzeptioniert
und sein Aufbau dokumentiert. Dem zu Grunde liegend
wird zunächst die Fraunhofer-Beugung am linearen
Binärgitter und Bestimmung der Strukturtiefe aus dem
Beugungsbild erläutert. Es wird auf das optische
Messprinzip samt Beispielmessungen eingegangen.
Besondere Beachtung findet die Darstellung der
Implementierung des Messplatzes. Dies führt von der
Konzeptionierung über die Konstruktion bis hin zur
Auswertung mit dem Programm LabVIEW 8.2.
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