Il silicio poroso (PS) è molto importante per le sue applicazioni nell'optoelettronica, nei sensori biologici e chimici, nella microlavorazione, nella fabbricazione di membrane di diffusione e come materiale di substrato e trappola per le molecole nella spettrometria di massa a desorbimento/ionizzazione senza matrice. Il PS può anche essere usato nel fotovoltaico, nelle applicazioni biomediche, nelle batterie e nelle celle solari. La PS è normalmente prodotta tramite incisione anodica in soluzioni a base di HF o tramite incisione a macchia in HF/ossidante. Mentre il metodo di incisione chimica assistita dal metallo non ha bisogno di un bias esterno e permette la formazione di PSL uniforme più rapidamente del metodo di incisione a macchia.