Creatie van fotomaskers door lasermaskerloze lithografie - Shnyagina, Elena Anatolyevna
26,99 €
inkl. MwSt.
Versandkostenfrei*
Versandfertig in 1-2 Wochen
payback
13 °P sammeln
  • Broschiertes Buch

De belangrijkste plaats in de moderne technologie voor het vervaardigen van micro-elektronische producten wordt ingenomen door fotolithografie. Het technologische proces van fotolithografie bestaat uit verschillende basisbewerkingen: het oppervlak van een halfgeleiderwafel voorbereiden, een laag fotolak op het oppervlak van de wafel aanbrengen, de fotolak drogen, de fotolak belichten, ontwikkelen en verharden, de geometrische afmetingen van het beeld regelen , het etsen van de film, het wassen van de wafel na het etsen, het verwijderen van de fotolakfilm van het oppervlak, het controleren van…mehr

Andere Kunden interessierten sich auch für
Produktbeschreibung
De belangrijkste plaats in de moderne technologie voor het vervaardigen van micro-elektronische producten wordt ingenomen door fotolithografie. Het technologische proces van fotolithografie bestaat uit verschillende basisbewerkingen: het oppervlak van een halfgeleiderwafel voorbereiden, een laag fotolak op het oppervlak van de wafel aanbrengen, de fotolak drogen, de fotolak belichten, ontwikkelen en verharden, de geometrische afmetingen van het beeld regelen , het etsen van de film, het wassen van de wafel na het etsen, het verwijderen van de fotolakfilm van het oppervlak, het controleren van bewerkte platen. Het doel van het werk was om fotomaskers te verkrijgen met zo min mogelijk parameters voor deze apparatuur. Hiervoor werd de invloed van de belichtingstijd en de ontwikkelingstijd op de parameters van fotomaskers (de aard van het patroon) verkregen met de methode van maskerloze laserlithografie op de belichtingsinstallatie "Heidelberg µPG501" onderzocht. Als resultaat van het werk werden fotomaskers gemaakt met geometrische parameters van 2 ¿m, terwijl voor deze batch de optimale belichtingstijd 35 ms was en de ontwikkelingstijd 60 s.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.
Autorenporträt
Elena Anatolyevna Shnyagina - estudiante (maestría) de la Universidad Nacional de Investigación Tecnológica "MISiS", Instituto de Nuevos Materiales y Nanotecnologías.