Design and Simulation of RF MEMS Switched Parallel Plate Capacitors
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
02.06.2016
Verlag
LAP LAMBERT Academic PublishingSeitenzahl
120
Maße (L/B/H)
22/15/0,8 cm
Gewicht
197 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-659-89833-4
In wireless communication systems, passive elements like tunable capacitors are needed in a variety of applications, such as Voltage Controlled Oscilla- tors (VCO), tunable matching networks and filters. In this books, the design and modeling of a Switched RF-MEMS parallel plate (air-gap) capacitor is presented. The feasibility of realizing switched RF MEMS capacitors in some technology constrains is considered with a targeted specifications given prior to design such as: low actuation voltage (< 3 Volts), capacitance ratio of 20, upstate capacitance of 20fF and electrical quality factor of 100. The design of low stiffness suspensions, to achieve the low actuation voltage, is discussed in detail.
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