Dreidimensionale Zweipunkt-Beugungsinterferometrie zur Positionsbestimmung von Produktionsmaschinen
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Thermomechanische Effekte führen häufig zu ungewollten Verlagerungen des Werkzeugmittelpunktes und beinträchtigen so die Genauigkeit von Produktionsmaschinen. Im Rahmen der Dissertation wird ein Messsystem auf Basis der Zweipunkt- Beugungsinterferometrie zur Erfassung und Korrektur dieser Verlagerungen untersucht und in Form eines Technologiedemonstrators umgesetzt. Anhand von Versuchsläufen auf einem Referenzprüfstand wird zudem die erreichbare Genauigkeit des Demonstrators ermittelt.
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