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El efecto del sustrato se estudió mediante nanoindentación en películas finas. Las películas blandas sobre sustrato duro mostraron más apilamiento de lo habitual, lo que se atribuyó al apilamiento de dislocaciones en la interfaz entre la película y el sustrato. Se mostró el efecto del embotamiento de la punta en la profundidad de la carga y los gráficos de dureza de la nanoindentación. Se ajustaron los datos experimentales de la variación de la dureza Vickers con el espesor de la película y las cargas y se analizaron nuevos parámetros. La zona delaminada se analizó mediante formas geométricas utilizando la vista óptica de la región de fallo junto con el desplazamiento de la carga Se ha estudiado la fractura por indentación utilizando el indentador Berkovich. Se analizó la tenacidad a la fractura por indentación (KR) en base a programas computacionales. Se ha estudiado la mecánica de contacto durante la nanoindentación con parámetros relacionados con la forma del indentador y la agudeza de la punta. Se determinaron computacionalmente las energías elástica, plástica y total. La diferencia de energía se relacionó con la tensión de cizallamiento que se genera con la transición elástica a plástica. El cambio en la naturaleza de la tensión residual se relacionó con el espesor de la película.