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O efeito do substrato foi estudado utilizando a nanoindentação em películas finas. As películas moles sobre substrato duro mostraram mais empilhamento do que o habitual, o que foi atribuído ao empilhamento do deslocamento na interface do substrato da película. Foi demonstrado o efeito do desbotamento da ponta na profundidade de carga e nas parcelas de dureza da nanoindentação. A data experimental de variação da dureza de Vickers com espessura e cargas do filme foi ajustada e novos parâmetros foram analisados. A área delaminada foi analisada utilizando formas geométricas utilizando a visão óptica da região de falha juntamente com o deslocamento da carga Foi estudada a fractura por nanoindentação utilizando o indentro de Berkovich. A resistência à fractura por indentação (KR) foi analisada com base em programas computacionais. A mecânica do contacto durante a nanoindentação foi estudada com parâmetros relacionados com a forma de indentação e a nitidez da ponta. As energias elásticas, plásticas e totais foram determinadas computacionalmente. A diferença de energia estava relacionada com a tensão de cisalhamento sendo gerada com transição elástica para plástica. A mudança na natureza da tensão residual estava relacionada com a espessura do filme.