Effektivität der orthogonalen Abscheidung für organische Leuchtdioden
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Organische Dünnschicht-Halbleiterbauelemente wie organische Leuchtdioden (OLEDs) und organische Photovoltaik können auf verschiedene Weise hergestellt werden, unter anderem durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD). PVD ist ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten mit genau kontrollierten Dicken und Materialzusammensetzungen auf ein Substrat in einem Vakuumsystem. Widerstandsbeheizte Tiegel, so genannte Boote, werden üblicherweise verwendet, um Ausgangsmaterialien auf eine ausreichende Temperatur zu erhitzen, um eine Verdampfung oder Sublimation zu bewirken. Diese Tiegel haben t...
Organische Dünnschicht-Halbleiterbauelemente wie organische Leuchtdioden (OLEDs) und organische Photovoltaik können auf verschiedene Weise hergestellt werden, unter anderem durch physikalische Gasphasenabscheidung (PVD). PVD ist ein Verfahren zur Abscheidung dünner Schichten mit genau kontrollierten Dicken und Materialzusammensetzungen auf ein Substrat in einem Vakuumsystem. Widerstandsbeheizte Tiegel, so genannte Boote, werden üblicherweise verwendet, um Ausgangsmaterialien auf eine ausreichende Temperatur zu erhitzen, um eine Verdampfung oder Sublimation zu bewirken. Diese Tiegel haben typischerweise eine einzige Öffnung, die einen konischen Dampfstrom für die Beschichtung sowohl eines Substrats als auch eines nahegelegenen Dicken- und Geschwindigkeitssensors erzeugt. In dieser Studie wurde ein neues Bootsdesign mit einem doppelten Dampfstrom untersucht, bei dem ein Dampfstrom auf den Sensor und der andere auf das Substrat in einer orthogonalen Ausrichtung gerichtet ist. DiesesDesign soll besonders nützliche Eigenschaften für die Herstellung von organischen Dünnschichten mit komplexer Zusammensetzung und mehreren Komponenten bieten. Außerdem soll es den Materialabfall durch Verkürzung des Abstands zwischen Quelle und Substrat reduzieren.
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