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L'effet du substrat a été étudié en utilisant la nanoindentation sur des films minces. Les films mous sur un substrat dur ont montré un empilement plus important que d'habitude, ce qui a été attribué à l'empilement des dislocations à l'interface film-substrat. L'effet de l'émoussement de la pointe sur la profondeur de charge et les courbes de dureté de la nanoindentation a été montré. Les données expérimentales de variation de la dureté Vickers avec l'épaisseur du film et les charges ont été ajustées et de nouveaux paramètres ont été analysés. La zone délaminée a été analysée à l'aide de formes géométriques en utilisant la vue optique de la zone de rupture avec le déplacement de la charge. La fracture par indentation en utilisant la nanoindentation avec un pénétrateur Berkovich a été étudiée. La ténacité de la fracture par indentation (KR) a été analysée sur la base de programmes de calcul. La mécanique de contact pendant la nanoindentation a été étudiée avec des paramètres liés à la forme de l'indenteur et à l'acuité de la pointe. Les énergies élastique, plastique et totale ont été déterminées par calcul. La différence d'énergie est liée à la contrainte de cisaillement générée lors de la transition de l'élastique au plastique. Le changement de la nature de la contrainte résiduelle est lié à l'épaisseur du film.