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L'effetto del substrato è stato studiato utilizzando la nanoindentazione su film sottili. I film morbidi su substrato duro hanno mostrato un accumulo maggiore del solito, attribuito all'accumulo di dislocazioni all'interfaccia film-substrato. È stato mostrato l'effetto della smussatura della punta sulla profondità di carico e sui diagrammi di durezza della nanoindentazione. I dati sperimentali di variazione della durezza Vickers con lo spessore del film e i carichi sono stati adattati e sono stati analizzati nuovi parametri. L'area delaminata è stata analizzata utilizzando forme geometriche con vista ottica della regione di rottura insieme allo spostamento del carico È stata studiata la frattura da indentazione utilizzando la nanoindentazione con il penetratore Berkovich. La tenacità alla frattura per indentazione (KR) è stata analizzata sulla base di programmi computazionali. La meccanica di contatto durante la nanoindentazione è stata studiata con parametri relativi alla forma del penetratore e all'affilatura della punta. Sono state determinate computazionalmente le energie elastiche, plastiche e totali. La differenza di energia è stata correlata allo sforzo di taglio generato con la transizione da elastica a plastica. La variazione della natura dello stress residuo è stata correlata allo spessore del film.