Eficácia da Deposição Ortogonal para Díodos Emissores de Luz Orgânicos
Trabalho realizado na Universidade de Rochester
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Os dispositivos semicondutores orgânicos de película fina, tais como díodos orgânicos emissores de luz (OLED) e fotovoltaicos orgânicos podem ser fabricados de várias formas, incluindo a deposição física de vapor (PVD). A PVD é um processo de deposição de películas finas de espessura precisamente controlada e composições de material num substrato num sistema de vácuo. Cadinhos aquecidos de forma resistiva, referidos como barcos, são normalmente utilizados para aquecer materiais de origem a uma temperatura suficiente para causar vaporização ou sublimação. Estes modelos de b...
Os dispositivos semicondutores orgânicos de película fina, tais como díodos orgânicos emissores de luz (OLED) e fotovoltaicos orgânicos podem ser fabricados de várias formas, incluindo a deposição física de vapor (PVD). A PVD é um processo de deposição de películas finas de espessura precisamente controlada e composições de material num substrato num sistema de vácuo. Cadinhos aquecidos de forma resistiva, referidos como barcos, são normalmente utilizados para aquecer materiais de origem a uma temperatura suficiente para causar vaporização ou sublimação. Estes modelos de barcos contêm tipicamente uma única abertura que resulta num fluxo de vapor cónico para revestir tanto um substrato como um sensor de espessura e velocidade próximo. Neste estudo, foi investigado um novo desenho de barco incorporando um fluxo duplo de vapor, onde um fluxo de vapor é apontado para o sensor e o outro é dirigido para o substrato numa orientação ortogonal. Este projecto destina-se a fornecer características particularmente úteis para o fabrico de filmes orgânicos finos de composições complexas envolvendo múltiplos componentes. Foi também concebido para reduzir o desperdício de material através da redução da fonte para a distância do substrato.
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