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Im Rahmen dieser Arbeit wird die inkrementelle Bohrlochmethode zur Eigenspannungsanalyse an Dickschichtsystemen weiterentwickelt. Die Grenzen der Bohrlochmethode hinsichtlich ihrer Anwendbarkeit an Schichtverbunden und der Einfluss des Schichtaufbaus auf die Spannungsentwicklung werden simulativ untersucht. Es wird eine Auswertemethodik für die Bohrlochmethode vorgeschlagen, die es ermöglicht, auch Eigenspannungstiefenverläufe an Dickschichtsystemen zuverlässig zu bestimmen.