As películas finas têm muitas aplicações práticas em vários domínios, como a ótica, a eletrónica, os sensores e a mecânica. Por conseguinte, tornou-se absolutamente essencial conhecer e compreender os mecanismos de crescimento de películas finas, a fim de produzir estes dispositivos. Este é o objetivo deste trabalho, que é apresentado num manuscrito dividido em quatro capítulos.O primeiro capítulo é dedicado à apresentação de algumas noções sobre a estrutura das superfícies, seguido de uma descrição de alguns tipos de superfície.No segundo capítulo, fazemos uma apresentação bastante geral dos tratamentos de substratos.No terceiro capítulo, apresentamos as várias fases de preparação de amostras antes da deposição de películas finas. Esta secção apresenta também as diferentes técnicas de deposição de películas finas e as suas aplicações, vantagens e desvantagens. As técnicas de caraterização (estrutural, composição química, propriedades ópticas, propriedades eléctricas e mecânicas) são o tema do quarto capítulo.