I film sottili hanno molte applicazioni pratiche in vari campi come l'ottica, l'elettronica, i sensori e la meccanica. È quindi diventato assolutamente indispensabile conoscere e comprendere i meccanismi di crescita dei film sottili per poter produrre questi dispositivi. Questo è l'obiettivo del presente lavoro, presentato in un manoscritto suddiviso in quattro capitoli.Il primo capitolo è dedicato alla presentazione di alcune nozioni sulla struttura delle superfici, seguita dalla descrizione di alcuni tipi di superficie.Nel secondo capitolo viene fornita una presentazione abbastanza generale dei trattamenti dei substrati.Nel terzo capitolo vengono presentate le varie fasi di preparazione dei campioni prima della deposizione dei film sottili. Questa sezione presenta anche le diverse tecniche di deposizione di film sottili e le loro applicazioni, vantaggi e svantaggi. Le tecniche di caratterizzazione (strutturale, composizione chimica, proprietà ottiche, elettriche e meccaniche) sono oggetto del quarto capitolo.