Am Mainzer Mikrotron (MAMI) werden Elektronen an Kernen gestreut. Die durchgeführten Experimente verwenden u.a. flüssigen Wasserstoff. Der Untergrund besteht aus Stickstoff und Sauerstoff, welcher sich auf der kalten Targetzelle niederschlägt. Somit ist eine Studie der Formfaktoren erforderlich, um diesen Untergrund simulieren zu können. Des Weiteren wurden am MAMI inklusive Messungen an Helium-3 und Helium-4 durchgeführt. Hier ist es notwendig, die Luminosität anhand der elastischen Linie zu eichen. Deshalb werden im Rahmen dieser Arbeit die Formfaktoren von He-3, He-4, N-14 und N-15 Kerne in Anlehnung an experimentelle Daten unterschiedlicher Autoren analysiert. Dabei wird die Frage diskutiert, wie zutreffend die empirische Fitfunktion McCarthys und Froschs (für He-3/4) die Daten des gesamten Bereichs des Impulsübertrags beschreibt. Parallel zum elektrischen und magnetischen Formfaktor des He-3-Kerns kann Amroun herangezogen werden, welcher eine Beschreibung der Formfaktoren durch Verwendung der Sum-of-Gaussians (SoG) bietet. Daraufhin wird für die Analyse der N-14/15 Kerne auf Lahm und Dally eingegangen und zum Schluss eine eigene Fitfunktion aufgestellt sowie diskutiert.