Equilibrio de fuerzas y supresión de errores del microgiroscopio vibratorio de silicio
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El giroscopio de microanillo vibrante es un giroscopio de ¿uctuación sólida de estructura axisimétrica bidimensional que ha evolucionado a partir de un giroscopio resonante hemisférico tridimensional. Con la premisa de heredar las características del giroscopio resonante hemisférico, tales como alta precisión, alta fiabilidad, larga vida útil y resistencia a la sobrecarga, es compatible con la tecnología de procesamiento MEMS de corriente principal actual, y por lo tanto tiene mejor CSWaP, y tiene una amplia perspectiva de aplicación. Por lo tanto, el giroscopio de anillo vibratorio...
El giroscopio de microanillo vibrante es un giroscopio de ¿uctuación sólida de estructura axisimétrica bidimensional que ha evolucionado a partir de un giroscopio resonante hemisférico tridimensional. Con la premisa de heredar las características del giroscopio resonante hemisférico, tales como alta precisión, alta fiabilidad, larga vida útil y resistencia a la sobrecarga, es compatible con la tecnología de procesamiento MEMS de corriente principal actual, y por lo tanto tiene mejor CSWaP, y tiene una amplia perspectiva de aplicación. Por lo tanto, el giroscopio de anillo vibratorio se ha convertido en uno de los puntos calientes de la investigación del giroscopio MEMS.
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