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El desarrollo de este trabajo surge como preparación para un futuro proyecto del CEMMPRE que consiste en la producción de películas delgadas de DLC para segmentos de pistón de motores de combustión interna de alta compresión depositadas por HiPIMS en modo DOMS. El objetivo de este trabajo es estudiar la influencia de ciertos parámetros de deposición en las muestras, con el fin de obtener una pauta a seguir en el proyecto. La variación en el sesgo del sustrato muestra que al aumentar el sesgo del sustrato en el proceso de deposición aumenta la dureza de los recubrimientos de DLC. Al aumentar el sesgo del sustrato, los iones de carbono en el plasma son atraídos con más ímpetu hacia el sustrato y da lugar a una estructura más compacta de las películas. Como parte de esta tesis, se produce Ne en el gas de descarga y se estudian los efectos del Ne. El Ne aumenta el grado de ionización del Carbono en el plasma por lo que aumenta la relación sp3 en la estructura de la película. Dado que la hibridación sp3 es más potente, los recubrimientos que se depositan con Ne muestran más dureza en la prueba de Nano indentación.