Nader Jedidi

Etude du contrôle avancé des procédés en industrie du semi-conducteur

Application au n¿ud technologique 130 nm

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Produktbeschreibung

Cette thèse porte sur le développement d outils de contrôle avancé des procédés et leurs applications à l industrie de fabrication des composants microélectroniques. L accent est mis en particulier sur les boucles de régulation, connues sous le nom de boucles run-to-run. Dans la première partie de ces travaux, l objectif était d identifier, à travers une analyse statistique multi-variée, les étapes de fabrication critiques, principalement responsables des variabilités temporelle et spatiale des performances électriques du dispositif. Les résultats obtenus montrent une forte variabilité lot à lot du courant de saturation et du courant de fuite, due, au premier ordre à la variabilité de la longueur de grille en poly-silicium. Ce constat a été le point de départ pour le développement d une nouvelle stratégie de régulation run-to-run mieux adaptée à un environnement de production high-mix, à savoir le contrôle coopératif. Un contrôleur coopératif s appuie sur un algorithme d identification récursif afin d estimer en ligne les états des sources de variations qualitatives prises en compte, notamment le produit et l équipement de fabrication.

Produktdetails

• Verlag: Éditions universitaires européennes
• Aufl.
• Seitenzahl: 184
• Erscheinungstermin: 23. Februar 2012
• Französisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 12mm
• Gewicht: 261g
• ISBN-13: 9783841785275
• ISBN-10: 3841785271
• Artikelnr.: 35088995

Autorenporträt

Nader JEDIDI a obtenu un doctorat en Microélectronique de l¿école des Mines de Saint-Etienne, France en 2009. Il se joint en 2010 à l¿université de Sherbrooke au Canada, où il y prendra part dans la réalisation de transistors mono-électroniques fonctionnant à température ambiante.