
Films minces sur le dioxyde de vanadium
Dépôt par laser pulsé, pulvérisation cathodique à magnétron cylindrique inversé, dépôt, caractérisation
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Au cours des dernières décennies, des couches minces de dioxyde de vanadium ont été synthétisées à l'aide de diverses méthodes/équipements. La qualité des résultats obtenus par ces méthodes est différente. Mais personne n'a encore fait d'étude comparative sur la qualité des films préparés en utilisant au moins deux ou plusieurs de ces méthodes/équipements. Ce livre rend compte de la qualité des couches minces de dioxyde de vanadium préparées par pulvérisation magnétron cylindrique inversée et dépôt par laser pulsé.