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Entfernungsmessungen mit Genauigkeiten im Mikrometerbereich sind für die Regelung von industriellen Maschinen essentiell. In dieser Arbeit wird untersucht, welche Genauigkeiten mit FMCW Radaren, die eine zusätzliche Phasenauswertung einsetzen, erreicht werden können. In industriellen Anwendungen wird gezeigt, dass mit FMCW-Radaren Entfernungsmessungen in Bereichen ermöglicht werden, in denen es bisher nicht möglich war zu messen. Im Labor konnten Genauigkeiten < 1 mim nachgewiesen werden. Distance measurements with micrometer accuracies are essential for the control of industrial machines. This work investigates the maximum possible accuracy of FMCW radar systems, which use an additional phase evaluation. The feasibility of the developed techniques is shown in different industrial applications. An accuracy better than 1 µm is demonstrated in measurements.