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In dieser Arbeit wird ein neues Messkonzept für eine hochgenaue, radarbasierte Abstandsmessung mit geführter Wellenausbreitung vorgestellt. Die erreichte Abstandsgenauigkeit liegt im einstelligen Mikrometerbereich. Mit den entwickelten Methoden und Techniken werden die Haupteinflussfaktoren auf die erreichbare Genauigkeit charakterisiert, um eine systematische Auslegung und Optimierung des Systems bereits im Vorfeld zu ermöglichen.