Zg¿aszamy wzrost ultra mäych nanowirów InSb poprzez mechanizm VLS (vapour-liquid-solid) metod¿ chemicznego osadzania pary wodnej. Parametry wzrostu s¿ zoptymalizowane do produkcji jednorodnych i ultra mäych nanometrów. W¿äciwo¿ci strukturalne rosn¿cych nanowirów s¿ badane za pomoc¿ skaningowej mikroskopii elektronowej i mikroskopii si¿ atomowych. Badania skaningowej mikroskopii elektronowej potwierdzaj¿ tryb wzrostu ko¿cówek nanowirów za pomoc¿ mechanizmu VLS. Stwierdzono, ¿e ¿rednice uprawianych nanowirów wynosz¿ 8-10 nm. Cechy morfologiczne badanych nanowirów badane s¿ za pomoc¿ mikroskopii si¿ atomowych. Kädy NW zawiera nano-wymiarowy katalizator Au w dolnej cz¿¿ci drutu, wskazuj¿cy na tryb wzrostu ko¿cówki nanowira poprzez mechanizm VLS.