Steffen Heinz

Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik

Ansteuerschaltungen für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Der Einsatz von elektrostatischen Mikroaktoren stellt besondere Ansprüche an die integrierten Treiberschaltungen. Die vorliegende Arbeit widmet sich dem integrierten Schaltungsentwurf von Hochvolt-Verstärkern für Torsionsspiegelarrays. Es werden verschiedene Verstärkerbetriebsarten hinsichtlich der Ansteuerung kleiner kapazitiver Lasten bewertet. Von besonderem Interesse ist die effiziente Funktion der integrierten Verstärker. Dazu zählt u.a. die leistungsarme Signalübertragung zwischen Low- und High-Side in geschalteten Hochvolt-Ausgangsstufen.Die speziellen Aspekte einer MEMS-Integration als System-in-Package demonstriert das Applikationsbeispiel einer integrierten Spiegelzeile eines Hadamard-Transformations-Spektrometers, bei dem Elektronik und Mechanik als Chipstapel mittels Waferbonden zusammengefügt werden.Den Einstieg in die Thematik der Hochvolt-Schaltungstechnik vermittelt ein Abriss über Isolationstechnologien und über Bauelementemodelle für Hochvolt-ICs. Außerdem werden die Vor- und Nachteile der wichtigsten Antriebsprinzipien von Mikroaktoren zusammengefasst.Das Buch richtet sich an Schaltungsentwickler aus dem Bereich der Mikrosystemtechnik.

Produktdetails

• Verlag: VDM Verlag Dr. Müller / VDM Verlag Dr. Müller e.K.
• Seitenzahl: 180
• Deutsch
• Abmessung: 11mm x 150mm x 220mm
• Gewicht: 284g
• ISBN-13: 9783639059038
• ISBN-10: 3639059034
• Artikelnr.: 24484393

Autorenporträt

Heinz, Steffen§Dr.-Ing. Steffen Heinz, Studium der Elektrotechnik/ Elektronik und Promotion an der TU Chemnitz, Wissenschaftlicher Mitarbeiter an der Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik der TU Chemnitz, Geschäftsführer der EDC Electronic Design Chemnitz GmbH