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En este trabajo se reúnen eventos históricos que dieron forma al desarrollo de micromáquinas cuyas dimensiones se encuentran en el rango de los micrómetros y que son conocidos como Sistemas-Micro-Electro-Mecánicos (MEMS). Las dimensiones de estos sistemas ofrecen ventajas importantes que están ampliando las capacidades del ser humano en el abito del desarrollo tecnológico y encontrando aplicación en diversas áreas de la ciencia y la investigación.