Andrej Solow'öw, Nikolaj Sochugow, Konstantin Oskomow

Ionno-plazmennye metody naneseniq tonkih plenok

Magnetronnoe raspylenie

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Produktbeschreibung

Kniga poswqschena probleme naneseniq tonkoplenochnyhpokrytij razlichnogo funkcional'nogo naznacheniq nashirokoformatnye podlozhki. V nej predstawlen obzorsowremennyh metodow naneseniq pokrytij sispol'zowaniem nizkotemperaturnoj plazmy. Priopisanii metodow i oborudowaniq dlq naneseniqpokrytij w wakuume osoboe wnimanie udelqetsqustrojstwam so skreschennymi älektricheskim i magnitnympolqmi, k kotorym otnosqtsq magnetronnyeraspylitel'nye sistemy i ionnye istochniki s anodnymsloem, chto obuslowleno ih wozmozhnost'ü sozdawat'odnorodnye protqzhennye potoki plazmy. Pomimo ätogo wknige podrobno opisano sowremennoe sostoqnie del woblasti ionno-plazmennogo osazhdeniq almazopodobnyhpokrytij i priwedeny rezul'taty, poluchennye awtoramipri razrabotke cilindricheskih magnetronnyhraspylitel'nyh sistem, nanesenii twerdyh uglerodnyhpokrytij s pomosch'ü ustrojstw so skreschennymiälektricheskim i magnitnym polqmi.Kniga prednaznachena dlq specialistow, interesuüschihsqw razlichnyh aspektah problematiki pokrytij imodificirowaniq powerhnosti, a takzhe budet poleznadlq studentow starshih kursow i aspirantowsootwetstwuüschih special'nostej.

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Produktdetails

• Verlag: LAP LAMBERT Academic Publishing
• Seitenzahl: 196
• Erscheinungstermin: 30. Juni 2011
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 12mm
• Gewicht: 310g
• ISBN-13: 9783844353808
• ISBN-10: 3844353801
• Artikelnr.: 62813264

Autorenporträt

Andrej Solow'ew: nauchnyj sotrudnik Instituta sil'notochnojälektroniki SO RAN i docent Tomskogo politehnicheskogo uniwersiteta.Nikolaj Sochugow: zaweduüschij laboratoriej Instituta sil'notochnojälektroniki SO RAN.Konstantin Oskomow: starshij nauchnyj sotrudnik Institutasil'notochnoj älektroniki SO RAN.