40,99 €
inkl. MwSt.
Versandkostenfrei*
Versandfertig in 6-10 Tagen
  • Broschiertes Buch

Mnogoslojnye sistemy tipa CaF2 ¿ CoSi2 ¿ Si, GaAlAs ¿ GaAs w nastoqschee wremq shiroko primenqütsq w strukturah kremnij (ili inoj poluprowodnik) na diälektrike, priborah na osnowe MDP ¿ struktur. Oni takzhe primenqütsq dlq sozdaniq wspomogatel'nyh älementow pribornyh struktur mikroälektroniki, wklüchaq zaschitnye i diälektricheskie sloi dlq materialow A3V5, opticheskie pokrytiq i okna dlq optoälektroniki, monokristallicheskie wysokorazreshaüschie rezisty, bufernye sloi dlq sozdaniq na osnowe kremniq nowyh geterokompozicij, naprimer, almaz ¿ na kremnii i t.p. V dannoj rabote priwedeny…mehr

Produktbeschreibung
Mnogoslojnye sistemy tipa CaF2 ¿ CoSi2 ¿ Si, GaAlAs ¿ GaAs w nastoqschee wremq shiroko primenqütsq w strukturah kremnij (ili inoj poluprowodnik) na diälektrike, priborah na osnowe MDP ¿ struktur. Oni takzhe primenqütsq dlq sozdaniq wspomogatel'nyh älementow pribornyh struktur mikroälektroniki, wklüchaq zaschitnye i diälektricheskie sloi dlq materialow A3V5, opticheskie pokrytiq i okna dlq optoälektroniki, monokristallicheskie wysokorazreshaüschie rezisty, bufernye sloi dlq sozdaniq na osnowe kremniq nowyh geterokompozicij, naprimer, almaz ¿ na kremnii i t.p. V dannoj rabote priwedeny rezul'taty komplexnogo izucheniq mehanizmow modifikacii i osobennostej obrazowaniq nanorazmernyh struktur w powerhnostnyh sloqh PdBa, CoSi2, CaF2 i GaAs pri nizkoänergeticheskoj ionnoj bombardirowke s posleduüschej termicheskoj i lazernoj obrabotkoj.
Autorenporträt
Donaew Sardor Burhanowich, docent kafedry "Sistemy obrabotki informacii i uprawleniq", Tashkentskij gosudarstwennyj tehnicheskij uniwersitet ¿ B. Umirzakow, doktor fiziko-matematicheskih nauk, professor kafedry "Obschaq fizika" ¿ D. Tashmuhamedowa, doktor fiziko-matematicheskih nauk, professor kafedry "Tehnologiq proizwodstwa älektronnyh apparatow".