Elena Konenkowa, Vasilij Bessolow

Jepitaxial'nye sloi nitridow alüminiq i galliq na kremnii

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Produktbeschreibung

Nitrid galliewye struktury, kotorye shiroko ispol'zuütsq w älektronnyh i optoälektronnyh priborah, w nastoqschee wremq preimuschestwenno wyraschiwaüt na sapfirowyh i karbid-kremniewyh podlozhkah. V poslednee wremq woznik interes k polucheniü takih struktur na kremniewoj podlozhke. Jeto obuslowleno perspektiwami integracii nitrid-galliewoj i kremniewoj älektroniki, wozmozhnost'ü ispol'zowaniq podlozhek bol'shih (do 300 mm) razmerow, ih nizkoj stoimost'ü, horoshej älektricheskoj prowodimost'ü. V obzore predstawleny äxperimental'nye rezul'taty äpitaxial'nogo rosta, naibolee deshewym metodom - metodom gazofaznoj hloridno-gidridnoj äpitaxii, sloew nitridow galliq i alüminiq na kremniewoj podlozhke. Obsuzhdaetsq nowyj podhod podawleniq processa obrazowaniq dislokacij i odnowremennogo snizheniq uprugoj deformacii w nitridnyh sloqh na podlozhke kremniq za schöt primeneniq tonkogo dopolnitel'nogo sloq karbida kremniq. Awtorami rassmotreny wozmozhnosti äpitaxial'nogo rosta sloew nitrida galliq w polupolqrnom naprawlenii na planarnoj podlozhke kremniq. Kniga budet polezna kak studentam i aspirantam, tak i professionalam w oblasti geteroäpitaxii sloew na kremnii.

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Produktdetails

• Verlag: LAP LAMBERT Academic Publishing
• Seitenzahl: 72
• Erscheinungstermin: 24. April 2013
• Russisch
• Abmessung: 220mm x 150mm x 5mm
• Gewicht: 125g
• ISBN-13: 9783659358326
• ISBN-10: 3659358320
• Artikelnr.: 62547099

Autorenporträt

Konenkowa Elena Vasil'ewna i Bessolow Vasilij Nikolaewich, kandidaty fiziko-matematicheskih nauk, starshie nauchnye sotrudniki Fiziko-tehnicheskogo instituta im.A.F.Ioffe RAN. Oblast' nauchnyh interesow ¿ tehnologiq geterostruktur.