V monografii predstavleny rezul'taty issledovaniya osobennostej izmenenij kineticheskih kojefficientov pod vozdejstviem oblucheniya, napravlennoj uprugoj deformacii i raznyh rezhimov termoobrabotki monokristallov kremniya i germaniya; proveden analiz vliyaniya primesej tehnologicheskogo proishozhdeniya na obrazovanie jelektricheski-aktivnyh komplexov; izucheny puti obespecheniya stabil'nosti parametrov poluprovodnikovyh sistem po otnosheniju k jeffektivnym vneshnim vozdejstviyam; vyyasnena rol' kak plavnyh (soizmerimyh s razmerami issleduemyh kristallov), tak i vysokogradientnyh neodnorodnostej nanoobektov; predlozhena metodologiya opredeleniya parametrov s povyshennoj chuvstvitel'nost'ju k ostatochnym neodnorodnostyam v poluprovodnikah. Monografiya prednaznachena dlya nauchnyh sotrudnikov i specialistov v oblasti poluprovodnikovogo materialovedeniya i radiacionnoj fiziki.