Andere Kunden interessierten sich auch für
![Conductive photopolymers: Insitu synthesis of metal nanoparticles]( "Conductive photopolymers: Insitu synthesis of metal nanoparticles")
Conductive photopolymers: Insitu synthesis of metal nanoparticles42,99 €![Lokale Bestimmung gasförmiger Schadstoffe mittels einer Impuls-Laser-Streulicht-Sonde]( "Lokale Bestimmung gasförmiger Schadstoffe mittels einer Impuls-Laser-Streulicht-Sonde")
Lokale Bestimmung gasförmiger Schadstoffe mittels einer Impuls-Laser-Streulicht-Sonde54,99 €![Internationaler Code für Abnahmeversuche an Wasserturbinen in Kraftwerken]( "Internationaler Code für Abnahmeversuche an Wasserturbinen in Kraftwerken")
Internationaler Code für Abnahmeversuche an Wasserturbinen in Kraftwerken79,99 €![Das Lichtbogenverbindungsschweißen von Aluminium und Stahl nach dem WIG-Verfahren]( "Das Lichtbogenverbindungsschweißen von Aluminium und Stahl nach dem WIG-Verfahren")
Das Lichtbogenverbindungsschweißen von Aluminium und Stahl nach dem WIG-Verfahren79,99 €![Der Durchmesser, ein Merkmal der Garnungleichmäßigkeit, und seine Auswirkung auf das Gewebeaussehen]( "Der Durchmesser, ein Merkmal der Garnungleichmäßigkeit, und seine Auswirkung auf das Gewebeaussehen")
Der Durchmesser, ein Merkmal der Garnungleichmäßigkeit, und seine Auswirkung auf das Gewebeaussehen54,99 €![Kubik-Tabelle zur Bestimmung des Inhaltes von Rundhölzern nach Kubikmetern und Hundertteilen des Kubikmeters, mit augehängten Reduktionstafeln]( "Kubik-Tabelle zur Bestimmung des Inhaltes von Rundhölzern nach Kubikmetern und Hundertteilen des Kubikmeters, mit augehängten Reduktionstafeln")
Kubik-Tabelle zur Bestimmung des Inhaltes von Rundhölzern nach Kubikmetern und Hundertteilen des Kubikmeters, mit augehängten Reduktionstafeln54,99 €![Massen-Tafeln zur Bestimmung des Gehaltes stehender Bäume an Kubikmetern fester Holzmasse]( "Massen-Tafeln zur Bestimmung des Gehaltes stehender Bäume an Kubikmetern fester Holzmasse")
Massen-Tafeln zur Bestimmung des Gehaltes stehender Bäume an Kubikmetern fester Holzmasse64,99 €
In der Halbleiterfertigung besteht aufgrund der Globalisierung und dem ständigen Kostenbewusstsein bei gleicher oder verbesserter Qualität der stetige Bedarf, die Fertigungsabläufe und Prozesse zu optimieren. Hierzu gehören auch die Verbrauchsmaterialien beim chemisch-mechanischem Polieren (CMP), die sehr kostenintensiv sind und die Qualität der Siliziumscheiben (Wafer) in der Halbleiterfertigung in hohem Maße beeinflussen. In diesem Buch wird ein Laser-basierendes Messsystem auf seine zuverlässige und praktische Eignung zur Insitu-Bestimmung von Poliertuchdicken untersucht. Dabei war es notwendig, das Zusammenwirken der verschiedenen Einflussfaktoren zu analysieren, um die notwendigen Anforderungen an das Messsystem festzulegen. Mit Hilfe des Lasermesssystems können die Dicke und auch der Abtrag des Poliertuches sehr genau, insitu und berührungslos ermittelt werden. Durch eine direkte Anbindung an das bestehende APC (engl. advanced process control)-System zur Prozesskontrolle kann somit ein gutes Monitoring des Fertigungsprozesses gewährleistet werden. Das integrierte Messsystem im Fertigungsablauf bietet weitere Potentiale zur Korrelation zwischen der Poliertuchdicke und den Einflussgrößen bei der Waferbearbeitung.