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Nous signalons la croissance de nanofils InSb ultra petits par le mécanisme vapeur-liquide-solide (VLS) par la méthode de dépôt chimique en phase vapeur. Les paramètres de croissance sont optimisés pour produire des nanofils uniformes et ultra petits. Les propriétés structurelles des nanofils InSb développés sont étudiées par microscopie électronique à balayage et par microscopie à force atomique. Les études de microscopie électronique à balayage confirment le mode de croissance des nanofils par le mécanisme VLS. Les diamètres des nanofils cultivés sont de 8 à 10 nm. Les caractéristiques morphologiques sont étudiées au moyen de la microscopie à force atomique. Chaque NW contient un catalyseur Au de taille nanométrique à l'extrémité inférieure du fil, indiquant le mode de croissance de la pointe par le mécanisme VLS.