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In der heutigen Zeit sind elektronische Geräte wie Mobiltelefone, Computer, Laptops, Sensoren und viele andere Geräte für den Menschen zu einer Notwendigkeit geworden, um sich zu versorgen, einen angenehmen Lebensstil zu führen und Aufgaben schnell und einfach zu erledigen. Verschiedene Arten von Temperatursensoren, Biosensoren, Fotosensoren usw. wurden entwickelt, um die Bedürfnisse der Menschen zu erfüllen. In all diesen Geräten befinden sich Chips, die mit Dioden, Transistoren, Logikgattern und ICs hergestellt werden. Die Strukturierung des Substrats, das für die weitere Entwicklung dieser Geräte verwendet wird, erfolgt mit Hilfe einer Technik, die als Lithographie bekannt ist. In der vorliegenden Arbeit haben wir einen Überblick über verschiedene Arten von Lithografietechniken wie optische Lithografie, Extrem-Ultraviolett-Lithografie, Elektronenstrahl-Lithografie, Röntgenstrahl-Lithografie und Ionenstrahl-Lithografie gegeben. Die Entwicklung dieser Techniken im Laufe der Zeitund ihre Anwendungen bei der Herstellung von Bauelementen werden erörtert. Es wird auch auf verschiedene Belichtungswerkzeuge eingegangen, die in den letzten zehn Jahren entwickelt wurden, um die Auflösung der Bauelemente zu verbessern. Es werden chemisch verstärkte und nicht chemisch verstärkte Resists mit ihren Bindungen und Dicken diskutiert.