16,99 €
inkl. MwSt.

Versandfertig in 6-10 Tagen
  • Broschiertes Buch

A lézeres folyadékfázisú leválasztás a mikro-és nanoelektronika egyik legeredményesebb technológiai eljárása. Ellentétben a göz/gáz fázisú leválasztással nem igényel bonyolult és költséges vacuum rendszert, s a felhasznált anyagok sem toxikusak. Az eljárás lényege abban áll, hogy a hordozóra felvitt, s a leválasztandó anyagot (fémet) tartalmazó réteg határfelületére fókuszált lézer nyaláb kémiai reakciót indukál, minek következtében a leválasztandó anyag megtapad a hordozó felületén. A lateráls és vertikális feloldás, gyakorlatilag az alkalmazott lézerfény hullámhosszának nagyságrendjébe esik.…mehr

Produktbeschreibung
A lézeres folyadékfázisú leválasztás a mikro-és nanoelektronika egyik legeredményesebb technológiai eljárása. Ellentétben a göz/gáz fázisú leválasztással nem igényel bonyolult és költséges vacuum rendszert, s a felhasznált anyagok sem toxikusak. Az eljárás lényege abban áll, hogy a hordozóra felvitt, s a leválasztandó anyagot (fémet) tartalmazó réteg határfelületére fókuszált lézer nyaláb kémiai reakciót indukál, minek következtében a leválasztandó anyag megtapad a hordozó felületén. A lateráls és vertikális feloldás, gyakorlatilag az alkalmazott lézerfény hullámhosszának nagyságrendjébe esik. A "rétegépítés" számos paramétere az alkalmazott lézerparaméterekkel, folytonos, impulzus üzem (lövésszám) hullámhossz, stb könnyen kézben tartható, bizonyos mértékben szabályozható, illetve elöre tervezhetö (tayloring).
Autorenporträt
1948 április 19-én születtem Csopakon. Fizikus diplomát 1972-ben szereztem Szentpétervárott. A Szegedi Tudományegyetem oktatója vagyok. Vendégprofesszorként Finnország, Franciaország, Németország, Oroszország, Olaszország, USA egyetemein dolgoztam. Kutatómunkát a lézerfény-anyag kölcsönhatás témakörben végeztem.