V monografii izlozheny rezul'taty matematicheskogo modelirovaniya processa obrazovaniya tonkih pljonok na podlozhkah (pri razlichnyh temperaturah i s techeniem vremeni). Rassmotrena matematicheskaya model' proniknoveniya atomov pljonki v glubinu podlozhki. Predstavleny analiticheskie i chislennye resheniya obratnyh zadach, voznikajushhih pri matematicheskom modelirovanii rosta tonkih pljonok na podlozhkah. Izlozheno jekonomiko-matematicheskoe modelirovanie proizvodstva tonkih pljonok, uchityvajushhee tehnologiju ih proizvostva. Monografiya prednaznachena dlya specialistov v oblasti prikladnoj matematiki, fiziki tvjordogo tela, v opto- i mikrojelektronnoj promyshlennostyah i t.d.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.
Hinweis: Dieser Artikel kann nur an eine deutsche Lieferadresse ausgeliefert werden.