Matrices de microdescarga sobre silicio - Kulsreshath, Mukesh Kumar
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El microplasma se está convirtiendo en un tema importante dentro de la comunidad del plasma. Los microplasmas comprenden las microdescargas catódicas huecas (MHCD), los microjets y las descargas de barrera dieléctrica (DBD). Todas ellas pueden funcionar a presión atmosférica y son plasmas de no-equilibrio. Entre estos diferentes tipos de microdescargas, las MHCD aparecen como una configuración de dispositivo muy prometedora para conducir corriente continua o alterna a través de diferentes gases. En este reactor concreto, el microplasma estable está confinado dentro de una cavidad. Aunque se…mehr

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Produktbeschreibung
El microplasma se está convirtiendo en un tema importante dentro de la comunidad del plasma. Los microplasmas comprenden las microdescargas catódicas huecas (MHCD), los microjets y las descargas de barrera dieléctrica (DBD). Todas ellas pueden funcionar a presión atmosférica y son plasmas de no-equilibrio. Entre estos diferentes tipos de microdescargas, las MHCD aparecen como una configuración de dispositivo muy prometedora para conducir corriente continua o alterna a través de diferentes gases. En este reactor concreto, el microplasma estable está confinado dentro de una cavidad. Aunque se han propuesto muchas configuraciones de dispositivos MHCD, aún no se han presentado sistemas integrados que incluyan MHCDs y microelectrónica. Los objetivos de este trabajo publicado son proponer diferentes tipos de microrreactores de silicio fabricados mediante técnicas de microfabricación, caracterizarlos mediante diagnósticos eléctricos y ópticos y probarlos en paralelo para el procesamiento de gases. De este modo, proporcionar una mejor comprensión de los fenómenos físicos relacionados con las matrices de microdescarga realizadas en silicio.
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Autorenporträt
Dr. Mukesh Kumar Kulsreshath erwarb seinen M.Sc. (Physik) an der G.N.D.U., Amritsar, Indien, und seinen M.Ed. an der PU Chandigarh, Indien. Darüber hinaus erwarb er den Erasmus Mundus M.S. in Photonik an der Universität Gent, Belgien, und an der University of St. Andrews, Schottland, Großbritannien; und er promovierte am GREMI Lab. - Université d'Orléans, Frankreich.