V monografii rassmotreny sowremennye sostoqnie i problemy polucheniq implantirowannyh sloew kremniq, uslowiq i metodika prowedeniq äxperimentow w oblasti molekulqrno-luchewoj äpitaxii, profili raspredeleniq koncentracii sostawe sloew kremniq, a takzhe strukturnye i fizicheskie processy w kremnii, ionno-implantirowannyh atomami perehodnyh grupp.Monografiq prednaznachena dlq prepodawatelej, magistrow i studentow, a takzhe dlq nauchnyh sotrudnikow i inzhenerno-tehnicheskih rabotnikow zanimaüschihsq razrabotkoj nowyh tonkih plenochnyh materialow s modificirowannymi swojstwami na osnowe kremniewyh silicidnyh struktur, poluchennyh ionnym legirowaniem.