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MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications

Aus der Reihe Microelectromechanical Systems
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187,99 € UVP 213,99 €

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Beschreibung

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

08.03.2006

Abbildungen

XXV, 965 p.

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

965

Maße (L/B/H)

24,1/16/5,9 cm

Gewicht

1630 g

Auflage

2006

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-540-21117-4

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Erscheinungsdatum

08.03.2006

Abbildungen

XXV, 965 p.

Verlag

Springer Berlin

Seitenzahl

965

Maße (L/B/H)

24,1/16/5,9 cm

Gewicht

1630 g

Auflage

2006

Sprache

Englisch

ISBN

978-3-540-21117-4

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

Email: ProductSafety@springernature.com

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  • Microtransducer Operation.- Material Properties: Measurement and Data.- MEMS and NEMS Simulation.- System-Level Simulation of Microsystems.- Thermal-Based Microsensors.- Photon Detectors.- Free-Space Optical MEMS.- Integrated Micro-Optics.- Microsensors for Magnetic Fields.- Mechanical Microsensors.- Semiconductor-Based Chemical Microsensors.- Microfluidics.- Biomedical Systems.- Microactuators.- Micromachining Technology.- LIGA Technology for R&D and Industrial Applications.- 17 Interface Circuitry and Microsystems.