Metal Based Thin Films for Electronics - Wetzig, Klaus / Schneider, Claus M. (eds.)
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Präparation, Charakterisierung und Eigenschaften komplexer, metallbasierter dünner Schichten: Dieses aktuelle Handbuch bespricht die wichtigsten Aspekte dieses Gebiets und wendet sich vorrangig an Spezialisten aus Forschung und (Mikroelektronik-)Industrie. Anschaulich wird gezeigt, wie sich Mikrostruktur, Tiefenprofile, elektronische Zustände und ähnliche Kenngrößen auf die Eigenschaften der Schicht auswirken. Mit Beiträgen renommierter Fachleute!

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Produktbeschreibung
Präparation, Charakterisierung und Eigenschaften komplexer, metallbasierter dünner Schichten: Dieses aktuelle Handbuch bespricht die wichtigsten Aspekte dieses Gebiets und wendet sich vorrangig an Spezialisten aus Forschung und (Mikroelektronik-)Industrie. Anschaulich wird gezeigt, wie sich Mikrostruktur, Tiefenprofile, elektronische Zustände und ähnliche Kenngrößen auf die Eigenschaften der Schicht auswirken. Mit Beiträgen renommierter Fachleute!
Autorenporträt
Klaus Wetzig is Director of the Leibniz Institute of Solid State and Materials Research, Dresden. His research interests include materials analysis and microstructures, especially electron microscopy of functional materials, characterization of thin films for electronics, and nanostructural features in general.

Claus Michael Schneider is Director at the Institute of Solid State Research of the Research Center Jülich (IFF-IEE). His research interests include solid state physics, thin film systems and surface magnetism as well as the physics of nanostructures.
Rezensionen
"...I can certainly agree with the final sentence of the book cover: A perfect introduction to the field-for professionals and students." - Angewandte Chemie 2004 No. 11, Uwe Bornscheuer

"Through its focus on practical aspects and its didactic approach, the book is designed especially for practitioners. It can be highly recommended to materials engineers, physicists or process engineers who work or plan to work in the still exciting field of micro electronics." - Winfried Blau, European Society of Thin Films, Dresden.
"...ist das Buch sowohl in seiner Praxisorientierung als auch in seiner didaktischen Gestaltung auf den Praktiker zugeschnitten. Es kann jedem Werkstofftechniker, Physiker oder Prozessingenieur, der auf dem immer noch aufregenden Gebiet der Mikroelektronik tätig ist oder tätig werden will, wärmstens empfohlen werden."
Vakuum in Forschung und Praxis 2/04