Rassmotreny principy postroeniya mikromehanicheskih sensorov uglovyh skorostej LL-tipa i sensorov linejnyh uskorenij L-tipa, ustrojstv obrabotki signalov. Predstavleny predlozhennye metody postroeniya funkcional'no integrirovannyh mnogoosevyh mikro- i nanomehanicheskih sensorov uglovyh skorostej i linejnyh uskorenij LL-tipa, uravneniya dvizheniya ih chuvstvitel'nyh jelementov i modeli zhestkostej uprugih podvesov mikromehanicheskih ustrojstv. Rabota adresovana specialistam v oblasti sozdaniya jelementnoj bazy mikrosistemnoj tehniki i mozhet byt' polezna aspirantam i studentam vuzov sootvetstvujushhih napravlenij. Rabota vypolnena pri finansovoj podderzhke Ministerstva obrazovaniya i nauki Rossii (proekt 213.01-11/2014-12 v ramkah bazovoj chasti gosudarstvennogo zadaniya).