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In der vorliegenden Arbeit wird über den Einsatz von Mikroplasmen bei atmosphärischem Druck zur Behandlung der inneren Oberflächen von geschlossenen Mikrofluidik-Produkten berichtet. Diese Produkte werden auf vielen Gebieten, wie der medizinischen Diagnostik und der Wirkstoffforschung eingesetzt. Die Querschnittsabmessungen der Transportkanäle (Kapillaren) liegen bei einigen hundert Mikrometer. Im Rahmen eines Verbundprojektes werden Verfahren zur kostengünstigen Modifizierung der Kanaloberflächen entwickelt. Als Behandlungsmethoden kommen kalte Barrierenentladungen innerhalb der Transportkanäle der Komponenten zum Einsatz.