Mikroplazma stanowitsq wazhnoj temoj w plazmennom soobschestwe. Mikroplazma wklüchaet w sebq mikropolye katodnye razrqdy (MHCD), mikrostrui i diälektricheskie bar'ernye razrqdy (DBD). Vse oni mogut rabotat' pri atmosfernom dawlenii i qwlqütsq nerawnowesnymi plazmami. Sredi ätih razlichnyh tipow mikrorazrqdow MHCD predstawlqütsq ochen' perspektiwnoj konfiguraciej ustrojstwa dlq propuskaniq postoqnnogo ili peremennogo toka cherez razlichnye gazy. V ätom konkretnom reaktore stabil'naq mikroplazma zaklüchena w polost'. Hotq bylo predlozheno mnozhestwo konfiguracij MHCD, no integrirowannye sistemy, wklüchaüschie MHCD i mikroälektroniku, esche ne byli predstawleny. Celi dannoj raboty - predlozhit' razlichnye tipy kremniewyh mikroreaktorow, izgotowlennyh metodami mikrofabrikacii, oharakterizowat' ih s pomosch'ü älektricheskoj i opticheskoj diagnostiki i parallel'no protestirowat' ih dlq obrabotki gazow. Takim obrazom, my smozhem luchshe ponqt' fizicheskie qwleniq, swqzannye s mikrorazrqdnymi massiwami, izgotowlennymi w kremnii.