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In dieser Arbeit werden Ergebnisse der selektiven Mikrostrukturierung eines Masters für eine Spritzgussmatrize mit ultrakurzen Laserpulsen vorgestellt. Mögliche Anwendungen für solche Verfahren zur Herstellung von Mikrofluidik- und Biochips sind in den Bereichen Rapid Prototyping und Mastering. Als Beispielstruktur wird ein Mikrofluidikchip prozessiert, welcher Anwendung in den Bereich Life Sciences und Diagnostik finden soll. Dieser ist ein bio-inspiriertes Mikrosystem, das die Schnittstelle zwischen Alveolaren und Kapillaren der menschlichen Lunge simuliert. Durch die kurzen Pulsdauern im Femtosekundenbereich kann einerseits aufgrund minimaler thermischer Diffusion Material "kalt" bearbeitet werden, andererseits absorbieren hochbandlückige Materialien durch nichtlineare Prozesse Laserstrahlung bei Wellenlängen, für die sie eigentlich transparent wären. Weiteres werden in dieser Arbeit bisherige Ergebnisse von selektiver Strukturierung mittels Femtosekundenlaser von Fotolack in Kombination mit konventioneller UV-Fotolithografie vorgestellt. Durch die Kombination dieser beider Verfahren, kann eine Struktur erzeugt werden, die sowohl Mikro- als auch Millimeterstrukturen enthalten.