Wolfgang Menz, Jürgen Mohr, Oliver Paul

Mikrosystemtechnik für Ingenieure

• Broschiertes Buch

Produktbeschreibung

Die völlig neubearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die neuesten Trends dieses sich rasch entwickelnden Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Insbesondere die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert. Neu hinzugekommen sind anwendungsbezogene Aspekte in der Medizintechnik, Galvanik und Lithographie.

Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in dieses aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen.

---

Die dritte Auflage des mittlerweile zum Standardwerk gereiftenLehrbuchs trägt den rasanten Entwicklungen in dieseminterdisziplinären Gebiet umfassend Rechnung. Insbesondere dieKapitel Siliziumtechnik, Materialien und Alternative Technologienwurden stark erweitert. Außerdem sind neue Anwendungsaspektehinzugekommen. Somit schlägt dieses Lehrbuch weiterhin ineinzigartiger Weise den Bogen von den Grundlagen derMikrosystemtechnik bis hin zu den aktuellen Anwendungen in einerVielzahl von High-Tech Entwicklungen.

Produktdetails

• Verlag: Wiley-VCH
• 3., überarb. u. erw. Aufl.
• Seitenzahl: 574
• Erscheinungstermin: April 2005
• Deutsch
• Abmessung: 246mm x 172mm x 32mm
• Gewicht: 1130g
• ISBN-13: 9783527305360
• ISBN-10: 352730536X
• Artikelnr.: 04798620

Autorenporträt

Prof. Wolfgang Menz, geb. 1938 in Berlin, studierte Physik in Bonn und Hamburg. Nach über 20 Jahren Tätigkeit in der Industrie (IBM und Robert Bosch GmbH) erhielt er einen Ruf an die Universität Karlsruhe und wurde gleichzeitig zum Leiter des Instituts für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe und der Universität Karlsruhe berufen. 1995 erhielt er den Ruf als Gründungsdekan des Fakultät für Angewandte Wissenschaften der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg i. Br. Prof. Menz war bis Oktober 2001 geschäftsführender Direktor des Instituts für Mikrosystemtechnik (IMTEK) und bis 2004 Orinarius für Prozesstechnologie. Seit Frühjahr 2004 ist er emeritiert. Dr.-Ing. Jürgen Mohr, geb. 1957 in Karlsruhe, studierte Physik an der Universität Karlsruhe. Direkt nach dem Studium fand er durch seine Anstellung am Institut für Mikrostrukturtechnik des Forschungszentrums Karlsruhe Zugang zur Mikrosystemtechnik. Er promovierte 1987 mit einer Arbeit auf dem Gebiet der Röntgenlithographie zur Herstellung von Mikrostrukturen. Im Jahre 1993 wurde er Leiter der Abteilung Röntgentiefenlithographie am Institut für Mikrostrukturtechnik. Außer für die Prozessentwicklung ist er heute für die anwendungsorientierte Forschungsarbeiten im Bereich der Mikrooptik am Forschungszentrum verantwortlich. Er ist Autor von über 200 Veröffentlichungen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Oliver Paul schloss 1986 sein Physikstudium und 1990 seine Promotion zum Dr. sc. nat. an der ETH Zürich ab. Nach einem Postdoc-Aufenthalt am FhG-ISE nahm er ab 1992 am Labor für Physikalische Elektronik der ETH Zürich die Aufgaben eines Projekt- und Gruppenleiters sowie Lehrbeauftragten wahr. Seit 1998 leitet er den Lehrstuhl für Materialien der Mikrosystemtechnik am IMTEK der Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Die Forschungsarbeit seiner Gruppe konzentriert sich auf die Mikrosystemtechnik auf der Basis von Silizium- und IC-Technologien und damit kompatiblen Prozessen, inklusive Entwurf, Herstellung, Materialeigenschaften, Charakterisierung und Theorie. Oliver Paul ist Mitautor von über 140 technischen Veröffentlichungen, drei Patenten und vier Büchern. Er hat unter anderem die Firma Sensirion mitbegründet und war Co-Chair der IEEE MEMS Conference 2004 in Maastricht, Niederlande.

Inhaltsangabe

ALLGEMEINE EINFÜHRUNG IN DIE MIKROSTRUKTURTECHNIK Was ist
Mikrostrukturtechnik? Von der Mikrostrukturtechnik zur Mikrosystemtechnik
DIE PARALLELEN ZUR MIKROELEKTRONIK Fertigungskonzepte der Mikroelektronik
Aufbau- und Verbindungstechnik Reinraumtechnik DIE NATURWISSENSCHAFTLICHEN
GRUNDLAGEN DER MIKROTECHNIK Ein Ausflug in die Quantenmechanik Kristalle
und Kristallographie Materialien der Mikrotechnik Grundbegriffe der
Elektrochemie und der galvanischen Abscheidung BASISTECHNOLOGIEN DER
MIKROTECHNIK Grundlagen der Vakuumtechnik Erzeugung von Dünnschichten
Abtragen und Strukturieren von Dünnschichten Oberflächenanalyse
LITHOGRAPHIE Überblick und Historie Resists Strukturübertragung
Maskenfertigung Strahlungsquellen DIE SILIZIUM-MIKROMECHANIK
Mikromechanische Grundstrukturen Die Oberflächen-Mikrotechnik
Anwendungsbeispiele DAS LIGA-VERFAHREN Überblick Maskenherstellung
Röntgentiefenlithographie Galvanik Abformung Varianten der LIGA-Technik
Anwendungsbeispiele ALTERNATIVE VERFAHREN DER MIKROSTRUKTURIERUNG
Mechanische Mikrofertigung Laser-Ablation Ionenverfahren AUFBAU- UND
VERBINDUNGSTECHNIKEN (AVT) Hybridtechniken Kontaktierungstechniken
Klebetechnik Anodisches Bonden Gehäusung SYSTEMTECHNIK Definition eines
Mikrosystems Entwurf, Simulation und Test von Mikrosystemen
Signalverarbeitung für Sensoren in Mikrosystemen Industrielle Konzepte der
Mikrosystemfertigung ANWENDUNGEN Allgemeine Meß- und Regeltechnik Optische
Kommunikation Medizintechnik Ausblick

Rezensionen

"Die völlig neu bearbeitete Auflage des ersten umfassenden Lehrbuchs der Mikrosystemtechnik berücksichtigt die Trends dieses Gebietes der Ingenieurwissenschaften. Vor allem die Kapitel zur Silizium- und LIGA-Technik wurden stark erweitert... Das Buch spricht überwiegend fortgeschrittene Studenten der Ingenieurwissenschaften an, die einen fundierten Einstieg in das aktuelle Forschungsthema suchen. Auch gestandene Fachleute können sich hier einen guten Überblick über die theoretischen und experimentellen Grundlagen der Mikrosystemtechnik verschaffen."
Wirtschaft Region Fulda IHK

"Das Buch ist insgesamt ein gelungener Versuch, die Grundlagen der Mikrosystemtechnik in einem Lehrwerk darzustellen."
CIT