Bei der Fertigung von Mikrosystemen kommen Mikrotechniken sowie hochentwickelte Verfahren der Aufbau- und Verbindungstechnik zum Einsatz. Der Autor geht sowohl auf On-chip-Systeme als auch auf hybride Systemlösungen ein. Weiter Aspekte sind u.a.
- Anwendungsgebiete von Mikrosystemen
- Mikrotechnologien
- Werkstoffe für die Mikrosystemtechnik
- Mikrosensoren und Mikroaktoren
- Energieversorgung von Mikrosystemen
- Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
- Ausgewählte Signalverarbeitungsverfahren für die Mikrosystemtechnik
- Anwendungsgebiete von Mikrosystemen
- Mikrotechnologien
- Werkstoffe für die Mikrosystemtechnik
- Mikrosensoren und Mikroaktoren
- Energieversorgung von Mikrosystemen
- Entwurf und Simulation von Mikrosystemen
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